本課程將藉由介紹奈微米微機電元件之不同應用設計以及相關製造技術，讓學生了解奈微米機電系統。目前奈微米機電系統中實際應用之感測器、致動器、以及多功能元件等不同應用目的之相關設計以及製造範例將在課堂中被提出討論並解說，更重要的是將設計實驗，讓學生有動手執行實驗之經驗，接軌將來修課學生投身於半導體以及微機電領域研究。